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本文標題:電子顯微鏡與掃描式電子顯微鏡

信息分類:站內新聞　新聞來源：未知發布時間：2014-3-29 18:24:19

電子顯微鏡與掃描式電子顯微鏡

現代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由很穩定的直流勵磁電流通過

帶極靴的線圈產生的強磁場使電子聚焦。電子源是一個釋放自由電

子的陰極，柵極，一個環狀加速電子的陽極構成的。陰極和陽極之

間的電壓差必須非常高，一般在數千伏到3百萬伏特之間。

它能發射并形成速度均勻的電子束，所以加速電壓的穩定度要求不

低于萬分之一。樣品可以穩定地放在樣品架上。此外往往還有可以

用來改變樣品移動、轉動、加熱、降溫。

電子顯微鏡的裝置探測器用來收集電子的信號或次級信號。真空裝

置用以保障顯微鏡內的真空狀態，這樣電子在其路徑上不會被吸收

或偏向，由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構成，并通過抽氣管

道與鏡筒相聯接。

電源柜由高壓發生器、勵磁電流穩流器和各種調節控制單元組成。

電子顯微鏡按結構和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯

微鏡、反射式電子顯微鏡和發射式電子顯微鏡等。

透射顯微鏡用于觀察不能分辨的細微物質結構；掃描式電子顯微鏡

主要用于觀察固體表面的形貌，也能與射線衍射儀或電子能譜儀相

結合，構成電子微探針，用于物質成分分析；發射式電子顯微鏡用

于自發射電子表面的研究。